電子半導(dǎo)體石墨制品應(yīng)用

作為低原子序數(shù)材料，對(duì)離子、等離子具有較強(qiáng)的抗轟擊能力，純度高沒(méi)有金屬離子不會(huì)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)生污染。 用于等離子cvd用部件 等離子cvd用感受器、電極室、噴嘴、內(nèi)襯、濺射用電極、mocvd感受器等

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